日本NISSHIN日新多靶标校准标准样品 Cat.No.133600-7

货号: Cat.No.133600-7

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品牌: 日本NISSHIN日新

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规格基板525微米厚的硼化超平坦硅晶圆（方向<100>）导电性5~15Ω电阻率模式圆形、方形、六边形、十字比例图案尺寸55毫米（4）线路75nm厚，纯亮铬线条/特征（从中心到中心测量）1微米宽的行，间距为5、10、15、20、25、30、35、40、45、50、55、60、65、70、75、80…

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产品详情

规格

基板	525微米厚的硼化超平坦硅晶圆（方向<100>）
导电性	5~15Ω电阻率
模式	圆形、方形、六边形、十字比例
图案尺寸	5×5毫米（4×）
线路	75nm厚，纯亮铬线条/特征（从中心到中心测量） 1微米宽的行，间距为5、10、15、20、25、30、35、40、45、50、55、60、65、70、75、80、85、90、95、100微米 5微米宽的线条并排显示，间隔为125微米和150微米 10微米宽的线，间距为200、250、300、350、400、500、600、700、800、900微米 20微米宽的线条并排显示，间隔为1.0、1.5、2、2.5、3、3.5、4、4.5和5毫米
交叉比例	5毫米宽线条，5×5毫米，0.002毫米比例
规模	12×12毫米
应用	反射光、扫描电子显微镜、光学成像系统
识别	带有序列号刻有的产品标识