日本NISSHIN日新 Pelcotec™ CDMS No.687-01

货号: No.687-01

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品牌: 日本NISSHIN日新

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简介

Pelcotec CDMS 易于使用，对于快速准确地校准 SEMFE-SEMFIBCD-SEMLMAFM 的放大倍率非常有用に非常に便利です。独特、经济、功能齐全、可追溯、测量范围广ルな校准它是一个标准的使用样品，它是充分利用最新的半导体和MEMS制造技术制成的。す。高达 5 m 的标准精确沉积…

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产品详情

Pelcotec CDMS 易于使用，对于快速准确地校准 SEMFE-SEMFIBCD-SEMLMAFM 的放大倍率非常有用に非常に便利です。

独特、经济、功能齐全、可追溯、测量范围广ルな校准它是一个标准的使用样品，它是充分利用最新的半导体和MEMS制造技术制成的。す。

高达 5 µm 的标准精确沉积在具有 50 nm 铬的超平坦硅基板上，2 µm 至 100 nm 的标准是通过在 Si 上结合 20 nm 的铬和 50 nm 的金制成的。 Cr 和 Au/Cr 提供在 SE 和 BSE 成像模式下具有出色的对比度，与铬铬/金上的标准 Si 蚀刻硅基板相比，可以轻松识别样品。所有特征都是导电的，因此该校准标准没有充电问题 CDMS 标准坚固耐用，可以用等离子清洁器清洁いて洗浄することができます。

嵌套小标准，便于导航和快速校准标准精度优于 0.3% 实际标准尺寸为 2.5 x 2.5mm，厚度为 675μm 10μm 硅表面无涂层每个 Pelcotec CDMS 标准都有唯一的识别号が付けられています。

Pelcotec CDMS-1CNIST 通过美国国家标准与技术研究院认证μmまでの标准样品台式 SEM 和中低放大倍率应用的理想选择です。

Pelcotec CDMS-0.1CNISTST（美国国家标准技术研究院认证た、支持所有 SEM 和大多数 FE-SEM 应用，标准样品从 2.0mm 到 100nm，放大倍率高达 10.2Mxします。

日本NISSHIN日新 Pelcotec™ CDMS-XY No.689-1
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