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FUJIKIN富士金自动压力控制器UPC系列

UPC系列

货号: UPC系列
库存: 0 无货

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简介

应用:任何压力都可以通过电信号设置。如果多个质量流量连接到一条管路,则进行压力调整,以便气体流量的突然波动不会影响其他质量流量。它可以用作冷却晶圆背面的控制器。用于下游压力控制。规格压力范围 F.S 13.3 kPa (100 Torr), F.S. 150/300/500 kPa 绝对 供应压…

产品详情

系列规格详情

材料SUS316L 不锈钢,镍钴合金最大工作压力 (MPa)0.2
最高工作温度 (°C)50最低工作温度 (°C)0


FUJIKIN富士金流量控制系统FCSP8000
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FUJIKIN富士金流量控制系统FCSP8000
FUJIKIN富士金活接头垫片UPG-JC-12.7
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