作业工具·自动化控件 CKD喜开理日本原装进口CKD喜开理减压阀

日本原装进口CKD喜开理减压阀

货号: PGM 系列

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工艺气体调节器工艺气体调节器型号铂族金属CKD 的工艺气体调节器拥有业界最高水平的密封性能、滞后性和可重复性。通过对供气进行高精度的压力/流量调节，实现稳定的过程。工业半导体制造工艺（前端工艺）化学品供应设备【高密封性】有助于工艺稳定● 阀座的最佳设计和超精…

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产品详情

工艺气体调节器

CKD 的工艺气体调节器拥有业界最高水平的密封性能、滞后性和可重复性。
通过对供气进行高精度的压力/流量调节，实现稳定的过程。

【高密封性】
有助于
工艺稳定● 阀座的最佳设计和超精密加工
● 在阀门关闭运行时，极度抑制向二次侧的泄漏（流出）

【高微流量可控性】
运行稳定
平稳● 阀座形状的优化设计
● 即使在微小的流速下也能稳定控制

[降低磁滞]

● 可靠地满足目标的压力 ● 采用
优质材料 ● 超精密加工

工艺气体调节器