作业工具·自动化控件 OHKURA大仓日本原装OHKURA大仓在线传输机

日本原装OHKURA大仓在线传输机

货号: 在线传输机

库存: 0

品牌: OHKURA大仓

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简介

该设备是一种用于卧式炉的在线晶圆运输设备，由在线晶圆传输机和控制部分组成。通过使用长船，可以提高工作效率，减少颗粒，减少工作错误。

分类: 作业工具·自动化控件, OHKURA大仓,

产品详情

长处

■节省空间的设计实现3000mm的紧凑
全长。

■采用彩色触摸面板通过彩色显示和易于查看提高了
触摸面板的可作性。

■可
传输25片晶圆 25片晶圆（1载体）通过一次移动转移晶圆，缩短了转印时间。

■ 最多可转移 7 个载体（175 张）支持
150 张的批量处理。

■不对晶圆施加负载的支架机构卡
盘采用负载保护机构，以防止在紧急情况下损坏晶圆。

■每艘船的伸长率微调功能可减少
船上的转移误差。

■提高船的卡盘定位能力通过用导向垫片支撑
船的四个角，提高了卡盘的定位能力，可以应对扭曲的船。

■自动计算每艘船的使用时间（自动计算扩散炉内热处理时间）
您可以检查何时清洁或更换船。
（仅当使用AUTO作和扩散控制器（MC）时）

■各种联锁装置，避免损坏晶圆通过加强各部件的
运行监控，提高了安全性。