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代理品牌 EBARA荏原日本EBARA荏原废气处理设备 G6-E-A1

日本EBARA荏原废气处理设备 G6-E-A1

货号: G6-E-A1

库存: 0

品牌: EBARA荏原

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废气处理设备G6-E型此燃烧型废气处理设备适用于半导体制造工艺中（如：外延工艺）产生大流量氢气氯气的废气处理。特点：●适合外延生长工艺气体处理的紧凑设计； ●可同时处理大流量氢气氯气，最大进气量为400L/min； ●标配副产物清除功能（燃烧器部分），保证正常运……

分类: 代理品牌, EBARA荏原,

产品详情

废气处理设备 G6-E型

此燃烧型废气处理设备适用于半导体制造工艺中（如：外延工艺）产生大流量氢气氯气的废气处理。

特点：●适合外延生长工艺气体处理的紧凑设计； ●可同时处理大流量氢气氯气，最大进气量为400L/min； ●标配副产物清除功能（燃烧器部分），保证正常运行时间。

江西省萍乡市安源区春雷粮油批发市场招商中心二楼201-203室

日本EBARA荏原 废气处理设备 G6-E-A1