作业工具·自动化控件 IRIE入江日本原装IRIE入江商会高真空油扩散泵ESV-3

日本原装IRIE入江商会高真空油扩散泵ESV-3

货号: ESV-3

库存: 0

品牌: IRIE入江

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简介

ESV系列高真空油扩散泵有2~62英寸的阵容，用于真空热处理炉、真空沉积、电子束焊接、溅射设备等排气系统，用于从高真空范围到超高真空范围的广泛真空工艺。

分类: 作业工具·自动化控件, IRIE入江,

产品详情

长处

为了获得从超高真空范围到高真空和中真空范围的稳定压力，该系列使用ESV-6及以下的环形加热器，ESV-8及以上的内燃种子式加热器，以防止在超高真空下因油沸腾而引起的压力波动。 ESV系列提高了取暖油的热效率（与我公司相比），因此运行时间快，排量大，临界背压大。此外，运行油量也很少。

型			ESV-2AC	ESV-3AC	ESV-100MT
最大抽气速度		[长/秒]	110	310	100
达到压力		[帕]	10-5帕	10-5帕	10-6帕
工作压力范围		[帕]	10-5~5×10-1	10-5~5×10-1	10-5~6.5×10-1
沿海背压		[帕]	40	50	40
最大排量		[Pa・L/S]	40	105	40
使用油			TS-4型	TS-4型	TS-4型
油量		[L]	0.05	0.1	0.07
垫片			氟橡胶	氟橡胶	氟橡胶
加热器	型		云母带	云母带	云母带
	电压、相位	[ACV，Φ]	100,1	200,1	210,1
	电力	[千瓦]	0.25	0.5	0.28
进气			VG50	VG80	VG50
补贴端口			φ21	VG25	VG25
冷却方式			风冷	风冷	水冷式
冷却推力		[升/分钟，	-	-	0.5
冷却推力		在 25ºC 时]	-	-	0.5
辅助泵			DRP-180YII 或 RP-180Z	DRP-360YII 或 RP-360Z	DRP-180YII 或 RP-180Z
挡板格式			2C（雪佛龙）	2C（雪佛龙）	-
排气速度挡板		[长/秒]	50	140	-
挡板冷却水量		[升/分钟，25ºC 时]	-	-	0.5
油逆流		[cm3/cm2・min]	10-8	10-8	10-8
材料	圆柱体		人工智能	人工智能	SUS304型
材料	噴氣機		铁（镀镍）	铁（镀镍）	铁（镀镍）
质量		[公斤]	5	11	3.7


型			ESV-3	ESV-4	ESV-6
最大抽气速度		[长/秒]	380	580	1200
达到压力		[帕]	10-6帕	10-6帕	10-6帕
工作压力范围		[帕]	10-6~3.3×10-1	10-6~3.3×10-1	10-6~0.4
沿海背压		[帕]	40	40	40
最大排量		[Pa・L/S]	93	190	260
使用油			TS-4型	TS-4型	TS-4型
油量		[L]	0.12	0.18	0.3
垫片			氟橡胶	氟橡胶	氟橡胶
加热器	型		云母带	云母带	云母带
	电压、相位	[ACV，Φ]	200,1	200,1	200,1
	电力	[千瓦]	0.55	0.75	1.2
进气			VG80	VG100型	VG150型
补贴端口			VG25	VG25	VG50
冷却方式			水冷式	水冷式	水冷式
冷却推力		[升/分钟，	1.1	1.5	2
冷却推力		在 25ºC 时]	1.1	1.5	2
辅助泵			DRP-360YII 或 RP-360Z	DRP-800 或 RP-800ZII	DRP-800 或 RP-800ZII
挡板格式			3C（雪佛龙）)	4C（雪佛龙）)	6C（雪佛龙）)
排气速度挡板		[长/秒]	165	240	450
挡板冷却水量		[升/分钟，25ºC 时]	1.1	1.5	2
油逆流		[cm3/cm2・min]	10-8	10-8	10-8
材料	圆柱体		SUS304型	SUS304型	SUS304型
材料	噴氣機		铁（镀镍）	铁（镀镍）	铁（镀镍）
质量		[公斤]	8.5	11	20