台湾CHELIC气立可质量流量控制计器 MFC-C500

货号: MFC-C500

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品牌: CHELIC气立可

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简介

项目/型号C500介质要求洁净干燥无腐蚀性气体测量气体空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等流量表示精度(F.S.)0.3%F.S. (≤30%F.S.)1.0%S.P. ( > 30%F.S.)重複精度0.2% F.S.以下解析度0.001 sccm ≤ 20 sccm,0.01 sccm ≤ 100 sccm且>20 sccm,0.1…

分类: 代理品牌, CHELIC气立可,

产品详情

项目/型号		C500
介质要求		洁净干燥无腐蚀性气体
测量气体		空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氩气等
流量表示	精度(F.S.)	±0.3%F.S. (≤30%F.S.) ±1.0%S.P. ( > 30%F.S.)
	重複精度	±0.2% F.S.以下
	解析度	0.001 sccm ≤ 20 sccm, 0.01 sccm ≤ 100 sccm且>20 sccm, 0.1 sccm ≤ 1 slm且>100 sccm, 1 sccm > 1 slm
量程比		100：1
最大耐压		9.8 bar
洩漏率		1×10-10 Pa m3/s He 以下
响应时间		0.5s以下
启动时间		1s 以下
使用條件	工作溫度	0 ~ 50℃(无结冰/无结霜)
	工作濕度	10% ~ 90%RH以下
	工作壓力	0.5 ~ 4 bar, > 2 slm 0.5 ~ 6 bar, ≤2 slm (具體量程相關)
	儲存溫度	-20 ~ 85° C(无结冰/无结霜)
电源规格	电压	DC24V
电源规格	功耗	4.0W 以下
通訊接口	接口類型	D-SUB9, RJ45
	類比控制	0 ~ 5V 或4 ~ 20 mA
	數位控制	RS-485或RS-232
通訊輸出	接口類型	D-SUB9或RJ45
	通訊速率	9600, 38400, 115200(原廠值)
	通訊協議	Modbus-RTU
	設備位置	1(原廠值)~99
接頭類型		不附外接接头(标准型) ;快插: Ø8mm; 卡套: 6mm, 8mm, 1/8", 1/4"; VCR1/4"
氣體接觸材質		316L不锈钢、氟橡胶、二氧化矽(硅)
主體材質		底座：316L不锈钢；外壳：铝合金
密封材質		FKM氟橡膠
重量		0.95 kg