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日本进口HORIBA堀场 CRITERION™ 系列(D500)

HORIBA堀场 CRITERION™ 系列(D500)

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品牌: HORIBA堀场

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简介

该前沿压力不敏感质量流模块配备差压检测和压电执行阀。CRITERION™ 系列 D500 提供的高性能确保其可用于多种先进半导体制造工艺;无压力感应,多范围/多气体/多压力,G-LIFE(集成流量限制方程气体定律检查)自我诊断功能,高精度,响应快速,范围宽,全金属。

产品详情

该前沿压力不敏感质量流模块配备差压检测和压电执行阀。

CRITERION™ 系列 D500 提供的高性能确保其可用于多种先进半导体制造工艺;无压力感应,多范围/多气体/多压力,G-LIFE(集成流量限制方程气体定律检查)自我诊断功能,高精度,响应快速,范围宽,全金属。

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