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日本进口HORIBA堀场CS-900 非接触式化学浓度监测仪

HORIBA堀场CS-900 非接触式化学浓度监测仪

货号:
库存: 0 无货
品牌: HORIBA堀场

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简介

一种化学浓度监测仪,设计用于测量半导体制造过程中使用的化学物质,如清洁和刻蚀,采用非接触方式。通过测量管道内流动的化学物质,实现安全稳定的浓度监测,避免化学品泄漏或污染风险。

产品详情
型号名称非接触式化学浓度监测仪
模型CS-900
测量方法吸收光谱学
浓度计算温度补偿多元分析
测量范围/
重复性(质量%)

型号名称

组成部分可测量范围重复性模拟输出范围
CS-900-1P-1P25P5新罕布什尔州30.00%-1.20%±0.05%0.00-10.00
H2O20.00%-5.50%±0.10%0.00-10.00
H2O93.3%-100.0%±1.0%

-

CS-900-1P-P8P8

新罕布什尔州30.20%-0.80%±0.03%0.00-1.00
H2O20.20%-0.80%±0.03%0.00-1.00
H2O98.4%-99.6%±0.3%

-

测量条件

1)测量频率:每3秒一次
2)移动平均值:16次

管道

PFA管 1英寸或3/4英寸(请勿使用防静电型PFA管)

样本条件*1

样品温度:20至80°C
大气温度波动:
±1摄氏度(时间:1小时)
样品压力:小于0.2 MPa(G)
样品压力波动:在0.02 MPa以内

动力来源

直流24V

功耗

阿波罗克斯。30W(启动时的瞬态电流不包括)
重量展示单元:阿波罗克斯。0.9kg
传感器单元:Apporox。2.9公斤
尺寸(WxDxH)显示单元:96x135x96mm
传感器单元:238x135x190mm
倾斜角传感器单元:
垂直方向在±3度
以内,横向方向0至90度
光源5年
通讯并行输入输出,RS-232C,模拟输出

CS-900

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