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电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场日本进口HORIBA堀场 EV-140C

日本进口HORIBA堀场 EV-140C

日本进口HORIBA堀场 EV-140C

HORIBA堀场 EV-140C

货号:

库存: 0

品牌: HORIBA堀场

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简介

这种发射分析型端点监测器旨在用于等离子体基半导体薄膜工艺中的端点检测或等离子体状态控制。新开发的狂喜强度算法通过捕捉微弱信号变化实现了精确的终点检测。捕捉发射细微变化的能力显著提升了灵敏度。增强的抗噪性能确保了在全天候生产线的恶劣环境中的高度稳定运行。…

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

光学单元
波长范围	200 - 800 nm
光学分辨率	<2.0 nm @ =200 - 500 nm <2.5 nm @ =500 - 700 nm （FWHM理论分辨率）
光学设计
设计	像差修正平地凹面光栅
焦距	140毫米
二阶滤波器	内置
探测器
CCD类型	背薄线性CCD图像传感器
像素数	2048×64
A/D 分辨率	16位
积分时间	20毫秒 - 2.5秒（10毫秒步）
规格
光学输入	光纤
传感器单元尺寸	137（西）×156（高）×257（深）毫米 5.4（西）×6.1（高）×10.1（低）英寸
传感器单元质量	4.0公斤
连接舱室编号	第一章
电源	24伏直流±10%
功耗	12 VA（最大值）
工作温度要求	15 - 35 °C
环境温度	0-50°C（无冷凝水）
工作湿度需求	<湿度80%，25°C（无凝结）
前置液晶显示屏	运行状态指示器（传感器故障/控制器故障）
冷却风扇	DC粉丝
进出
♬ 对于带有测量曲线链路的输出信号
输出端口号	2 ch
输出范围	0 - 5 伏直流
Δ PIO 远程协议
数字输出	PIO / （DI = 8位 / DO = 8位）
PIO远程协议连接器	Dsub25S （PIO端口，模拟输出端口）
控制器接口	以太网×1口

可滚动

控制单元

单位维数	197（西）×148（高）×250（深）毫米 7.8（西）×5.8（高）×9.8（低）英寸
操作系统	WindowsXP 嵌入式版（英文版）
中央处理器	赛扬 1.3 GHz
主存	1 GB
硬盘	80 GB
界面	以太网×2，RS232C × 2
电源	90 - 264 V 交流电，50/60 ± 3 Hz

日本进口HORIBA堀场 EVCM-1电动汽车充电监测器
¥0.00

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日本进口HORIBA堀场 EV 2.0系列
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