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日本精品HORIBA堀场 LG-100系列

HORIBA堀场 LG-100系列

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品牌: HORIBA堀场

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简介

激光气体分析仪LG-100系列能够实时测量分压*1四氟化硅(SiF)的变化4)在半导体制造中使用的蚀刻过程中产生的。这些变化使制造商能够判断蚀刻是否达到允许的深度(终点*2). LG-100降低了烧蚀不足和过度蚀刻的风险,有助于半导体制造时提高生产效率和良率。

产品详情


激光气体分析仪LG-100系列能够实时测量分压*1四氟化硅(SiF)的变化4)在半导体制造中使用的蚀刻过程中产生的。这些变化使制造商能够判断蚀刻是否达到允许的深度(终点*2). LG-100降低了烧蚀不足和过度蚀刻的风险,有助于半导体制造时提高生产效率和良率。

先进逻辑半导体需要更先进的传感技术。HORIBA STEC持续拓展多组分气体分析,提升响应速度,并以其他方式扩展LG-100的功能,从而提升半导体制造工艺的生产效率,生产这些最先进半导体。未来,我们将通过扩展内置IRLAM技术的产品,响应多样化客户需求。

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