日本进口HORIBA堀场 LSC系列

HORIBA堀场 LSC系列

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品牌: HORIBA堀场

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堀场畅销的烘焙系统专为满足当今高科技产业的需求而开发。无需载气，系统可以稳定汽化TEOS（速率为600 SCCM）和H2O（速率为2 SLM）等材料。为了便于操作，所有设备维护都可以从设备前方完成。

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

产生的流量	H2O 2SLM，TEOS 600 SCCM（最大功率）
操作压力	最大 1.33kPa
源槽体积	2.7L
热调节方法	通过热调节器控制PID
液体表面检测方法	浮动开关
内部质量流量控制器	SEC-8400系列
空气压力阀	风箱类型
液体连接和气体接触区的材料	SUS316L，PFA
工作温度	20至35°C
外部输入	空气压力阀开/闭，质量流量控制器流量设定信号（0至5伏直流/0至100%F.S），紧急停止信号，自动零信号（选配）
外部输出	温度报警、液位H.H报警、液位信号（H、M、L）、准备信号、质量流量控制器流量输出信号（（0至5伏直流/0至100%华氏）、温调节浴内部风扇停止报警、阀门电压监测（选配）
动力来源	交流100伏，单相50/60赫兹，1.5千伏安
其他	自动充电系统：可连接LU系列。

* 流量控制范围随液体类型而异。
* SCCM和SLM是表示气体流量的符号（0°C时的mL/min、L/min，101.3 kPa）。