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日本进口HORIBA堀场 MI-1000/MV-1000

HORIBA堀场 MI-1000/MV-1000

货号:
库存: 0 无货
品牌: HORIBA堀场

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简介

该混合注入系统可通过气液混合汽化方法快速汽化多种液体源。该方法允许高沸点液体的稳定汽化。

产品详情
  • 气液混合汽化法能够稳定地汽化高沸点液体

  • 紧凑的设计便于集成

  • 汽化效率高于传统汽化方法

  • 可以产生更大的流量

  • 汽化温度可以降低。

 

测量技术

注入方法
以下是蒸发液体源并将其输送到工艺腔室的主要步骤。
1. 测量液体源的流量,并由阀门回馈和控制液体量。
2. 液体瞬间且完全汽化。
3. 气体释放时不允许重新凝结成液态。

由于喷嘴前方的载气压力较高,喷射器内部的气体可以高效加热。液源和加热的载体气体在喷嘴前的气液混合区中混合,当混合物通过喷嘴时压力降低,导致混合物汽化。

混合喷射系统液体蒸发器MV-1000

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