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电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场江崎推荐HORIBA堀场 PLATO 系列

江崎推荐HORIBA堀场 PLATO 系列

江崎推荐HORIBA堀场 PLATO 系列

HORIBA堀场 PLATO 系列

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品牌: HORIBA堀场

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简介

PLATO系列光致发光映射系统是一种采用光致发光（PL）方法的复合晶圆缺陷检测装置。它可根据激发激光器和光谱的选择，测量从DUV到近红外的光谱特性。支持2至12英寸晶圆，产品线中还提供兼容自动传输的自动加载类型。该系统通过无许可限制的专用软件实现了多样化的操作。它…

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

光源	紫外线	213纳米，266纳米，325纳米
	可视性	375纳米，405纳米，532纳米
	尼尔	980纳米，1064纳米
测量项目	DBR测量	可见光范围，近红外范围
测量项目	船首测量	10~1000
激光标记	CE-CoC、CE-DoC、KCs、S-Mark	蓝宝石，Si，GaAs。
晶圆转印	机器人类型	单臂，双臂
	机器人类型	盒式磁带映射传感器
	晶圆尺寸	半标准 2“、3”、4“、6”、8“、12”
	磁带类型	开放式磁带、SMIF、FOUP
	识别	晶圆识别读取器，磁带识别识别器
认证	CE-CoC、CE-DoC、KCs、S-Mark
等等。	SECS/GEM

江崎推荐HORIBA堀场 PLATO-MicroScan
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日本进口HORIBA堀场 PI-200-SP
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