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电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场日本进口HORIBA堀场 PLIMA-LED

日本进口HORIBA堀场 PLIMA-LED

日本进口HORIBA堀场 PLIMA-LED

HORIBA堀场 PLIMA-LED

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库存: 0

品牌: HORIBA堀场

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简介

PLIMA-LED是一款下一代光致发光解决方案，将PL、AOI和光谱分析整合到一个平台，实现精确的光学检测、良率分析，并实现与制造执行系统的无缝集成。

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

通用规格

概述	扫描方法	螺旋扫描，旋转1800转/分钟，线性运动
	晶圆	4＂, 6＂
	舞台	XY轴线性级，Z轴 R级，最大转速1800转
测量	物镜	5倍、10倍、20倍、50倍激光激发（无物镜选配）
	图像相机	分辨率：2048 x 2048（4M 像素）像素尺寸：5.5 um x 5.5 um
	光纤	400微米束芯
	经前综合征	端口1（PMT 1）：带通滤波器的 PL检测端口2（PMT 2）：反射（散射）
	光谱仪	槽密度：300线/毫米光谱范围（nm）：210 – 2100 像素（ea）：2048 x 64 色散：0.44 nm / 像素
激发源		50毫瓦375纳米激光（用于蓝色、绿色LED）50 毫瓦532纳米激光（用于红色LED）
测量速度			4英寸	6英寸
		PMT映射（同时两个通道，5微米步进）	8件/1小时	6件装 / 1小时
		PMT映射与频谱映射（可选测量）	7片 / 1H （PMT ：5微米 / Spectrum：2毫米）	7片 / 1H （PMT ：5微米 / Spectrum：4mm）
		微光谱仪映射	3600分/小时步调：最低2月
尺寸（毫米）		2000（西）×1400（民主）×2000（手）

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