江崎推荐HORIBA堀场PyroSense 系列原位监测系统

HORIBA堀场PyroSense 系列

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品牌: HORIBA堀场

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PyroSense系列是一套用于MOCVD/MBE外延生长过程的原位监测系统。它能够在线监测沉积过程中的温度、薄膜厚度（生长速率）和变形情况。作为沉积设备（如CVD、MBE和ALD的原位监测工具），它通过实时发射率测量温度，通过反射率测量变形，以及薄膜厚度（生长速率）。

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

模型		PyroSense	PyroCurveSense / PyroCurveSense+	PyroCurveSense++
温度	范围 [°C]	450 ~ 1,500
	分辨率 [°C]	0.1
	精度 [°C]	±1.0
	波长 [nm]	950±5
	采样率 [Hz]	1,000		50,000
反射率	波长 [nm]	405,633,950 ± 5
	范围 [%]	0 ~ 100
	分辨率 [%]	0.1
	准确率 [%]	±1.0
	增长率准确率 [%]	±1.5
	采样率 [Hz]	1,000		50,000
曲率	航程 [km-1]	–	-1,400（凹面）~ +2,000（凸面）
	分辨率 [km-1]	–	2.0
	精度 [km-1]	–	±1.0
概述	转速 [转速]	5 ~ 120		100 ~ 1,200
	力量 [V]	交流110~220（50/60赫兹）
	尺寸 [毫米] （宽 x 高 x 深）	头部：35X34X93 手柄：250X300X90	头1：35X34X93 头2：157X58X134 控制器：250X300X90	头1：35X34X93 头2：95X58X134 手柄：250X300X90
	体重 [kg]	头部：0.6 控制器：3.0	头1：0.6 头2：2.0 控制器：3.0	头1：0.6 头2：1.5 控制器：3.0