日本进口HORIBA堀场 SEC-Z500X 系列

HORIBA堀场 SEC-Z500X 系列

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品牌: HORIBA堀场

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简介

这是HORIBA最畅销的数字质量流量控制器型号。它具备多范围/多气体功能，使用户能够快速轻松地在现场更换气体类型或全流量。该质量流量控制器具有高精度+/- 1.0% S.P，压电执行阀，响应速度快且全金属，适合提升工艺良率并简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT…

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

这是HORIBA最畅销的数字质量流量控制器型号。它具备多范围/多气体功能，使用户能够快速轻松地在现场更换气体类型或全流量。
该质量流量控制器具有高精度+/- 1.0% S.P，压电执行阀，响应速度快且全金属，适合提升工艺良率并简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT®通信均可使用。

高精度±1.0% S.P.
该质量流量控制器的线性性通过多项式近似曲线进行补偿，并在所有流量控制范围内实现高精度。为了提高实际气体的精度，各种工艺气体的校准数据由HORIBA STEC的标准气体测量系统进行测量。
高速响应
配备“可变PID系统”，可在任意两个设定点之间实现1秒响应。可变PID会根据流点设置持续变化。这使得在改变全尺度流量和气体时优化PID因子。
多燃气/多范围解决方案
配置软件使得快速且轻松地更改规格成为可能。一个关键特点是，这些更改可以在不拆卸气体面板或管道上的质量流量控制器的情况下完成。这减少了所需的备用质量流量控制器数量;节省时间和成本。

质量流量控制器 SEC-Z500X 适用于多种应用以及半导体制造。阅读我们的案例研究，了解SEC-Z500X如何提升国家海洋与大气管理局的成果：案例研究

多距离/多气体数字质量流量控制器 SEC-Z500X