日本进口HORIBA堀场 VC系列

HORIBA堀场 VC系列

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品牌: HORIBA堀场

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VC系列能够快速汽化纯水或其他液体源，无需载体气体，从而构建更紧凑的汽化系统。HORIBA可以为您提供定制的蒸发系统，包括该VC系列及所有其他所需组件：用于流量测量的液体质量流量计，用于测量蒸汽流量的高温质量流量控制器，阀门、过滤器、加热器等。

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

模型	VC-1420
产生的流量*1（在TEOS生成过程中）	最大5.0 CCM转换（液相转换）
支持的液体	TEOS，P（OCH3）3，C6F6
温度上升	最高150°C
产生的压力*1	减压
外部泄漏完整性	1.0x10-8Pa·m3/s
内部泄漏完整性	1.0x10-6Pa·m3/s
湿润的马特利亚	316L不锈钢（抛光表面）
内部加热器体积	交流电 100V 至 120V 70W（35Wx2）
使用的温度传感器	热电偶K型（CA）
耐压性	1.0MPa（G）
标准配件	液体进气口：1/8英寸VCR型公头燃气出口：1/4英寸VCR型母头
*1 因液体类型而异。
*CCM是一个表示气体流量（25°C时mL/min，101.3 kPa）的符号。