SmartSPM 扫描仪和基座

样品扫描范围：100微米 x 100微米 x 15微米（±10%）

扫描类型按样本分类：XY 非线性 0.05%;Z 非线性 0.05%

噪声：200 Hz带宽内，XY尺寸为0.1 nm RMS，电容传感器开启;100 Hz带宽内，电容传感器关闭时，XY尺寸为0.02 nm RMS;< 0.04 nm RMS Z电容传感器，1000 Hz带宽

共振频率：XY：7 kHz（无负载）;Z：15 kHz（无负载）

X、Y、Z移动：X、Y、Z轴的数字闭环控制;电动Z进近范围18毫米

样本尺寸：最大40 x 50毫米，厚度15毫米

样品定位：电动样品定位范围 5 x 5 毫米

定位分辨率：1 微米

AFM头部

激光波长：1300 nm，不干扰光谱探测器

校准：全自动悬臂梁和光电二极管校准

探针通道：为额外的外部操作器和探针提供免费探针通道

SPM测量模式

空气接触式AFM（液体可选）;空气半接触式AFM（液体可选）;非接触AFM;相位成像;侧向力显微镜（LFM）;力调制;导电AFM（可选）;磁力显微镜（MFM）;开尔文探针（表面势显微镜，SKM，KPFM）;电容与电力显微镜（EFM）;力曲线测量;压电响应力显微镜（PFM）;纳米光刻;纳米操作;STM（可选）;光电流映射（可选）;伏安特性测量（可选）

光谱模式

共焦点拉曼、荧光与光致发光成像与光谱学

AFM、STM和剪切力模式下的尖端增强拉曼光谱（TERS）

尖端增强光致发光（TEPL）

近场光学扫描显微镜与光谱学（NSOM/SNOM）

导电式AFM单元（可选）

电流范围：100 fA ÷ 10 μA;3个电流范围（1 nA、100 nA和10 μA），可通过软件切换

光学接入

可同时使用顶平面和侧面平面的消色器物镜：最高可达100倍，NA = 0.7（距上或侧）;最多可同时使用20倍和100倍

闭环压电物镜扫描仪，用于超稳定的长期光谱激光对准：范围20微米 x 20微米 x 15微米;分辨率：1纳米

光谱仪

全自动XploRA Plus紧凑型微型光谱仪，可作为独立的微拉曼显微镜使用。

波长范围：60厘米-1可达4000厘米-1 

光栅：计算机控制炮塔上的4个光栅（600、1200、1800和2400 g/mm）

自动化：全电动、软件控制操作

检测

全系列CCD探测器和EMCCD探测器。

激光源

典型波长：532 nm、638 nm、785 nm。

自动化：全电动、软件控制操作