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电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场江崎推荐HORIBA堀场Xtrology全自动薄膜检测系统

江崎推荐HORIBA堀场Xtrology全自动薄膜检测系统

江崎推荐HORIBA堀场Xtrology全自动薄膜检测系统

HORIBA堀场Xtrology

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品牌: HORIBA堀场

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简介

新产品“Xtrology”全自动薄膜检测系统*1使得用单一仪器完成重要检测成为可能，如薄膜厚度测量、缺陷分析和各类晶圆的成分分析。近年来，由于半导体行业的技术进步，制造过程中检测项目数量增加，检测要求也在不断提高。

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

1. 根据客户检验需求定制传感器和规格

“Xtrology”是一个高度可定制的系统，允许您从三种分析方法中选择一个或多个传感器：光谱椭偏仪*2拉曼光谱学*3以及光致发光*4.这使得用单一仪器对各种晶圆进行重要检查成为可能。

■主要测量解决方案

胶片厚度	薄膜厚度和薄膜质量测量，单层或多层分析
光学性质	测量n（光折射率）、k（消光系数）5），以及Eg（带隙）6)
结晶性	材料晶体结构的均匀性评估等。
合成 / 化学计量	材料成分和成分分析，以及均匀性评估
缺陷检查	缺陷定位、分类以及颗粒检测与识别
应力	应力*7均匀性评估

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