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江崎中部地区办事处推荐佳能安内华CANON ANELVA 真空机 M-361CP-SPN25


一、型号拆解

  • M-361CP:产品系列,皮拉尼 + 冷阴极二合一复合真空规

  • SP:Set Point 带 2 路开关量设定点输出版本

  • N25:接口法兰 NW25 KF25 真空快拆法兰

项目参数
测量量程1×10⁻⁷ Pa ~ 1×10⁵ Pa
供电DC 15~30 V
功耗2.4 W
模拟输出0~10 VDC(压力线性输出)
开关输出2 路设定点继电器(DC30V 1A)
连接器D-Sub 9 针公头
工作温度5~55 ℃
法兰NW25(KF25)
外形尺寸50(W) × 50(D) × 110(L) mm

核心优势

  1. 独有光触发放电技术

    大幅改善传统冷阴极规容易无法起辉、量程切换跳数、测量中断问题;

  2. 大气压测量性能优秀

    皮拉尼单元在常压区间稳定性高,响应速度接近薄膜真空计;

  3. 维护便捷

    无需整体报废,仅可单独更换冷阴极电极组件;

  4. 无热灯丝

    对比热阴极离子规,不怕大气冲击、耐工艺污染,使用寿命更长。

⚠️ 注意:氢气、氧气等高活性气体工况下,冷阴极起辉可能延迟,需要提前评估。

五、典型应用场景

半导体溅射、真空镀膜、电子束设备、MBE、SEM 扫描电镜、真空焊接、热处理炉、各类科研真空腔体。

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