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新闻资讯公司新闻江崎中部地区办事处推荐日本MIYUKI美幸辉闸阀GAR-J300

江崎中部地区办事处推荐日本MIYUKI美幸辉闸阀GAR-J300

江西省江崎贸易有限公司
2026-08-03

核心技术参数

通径：DN300 / JIS 日标法兰
工作压力：大气压 (10⁵Pa) ～高真空 10⁻⁶ Pa
泄漏指标

阀座内漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
轴封外漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（氦检出厂，超高真空等级）

驱动：DC24V 伺服电机直驱，无背隙传动
调节范围：0～100% 开度连续无级调节，支持微小开度稳定节流
材质

流体接触面：SUS304 不锈钢（镜面电解抛光，低释气、低发尘）
密封件：FKM 氟橡胶 O 型圈，耐多种工艺气体

使用温度

阀体最高 150℃；伺服电机≤40℃

断电特性：制动锁止，保持当前开度；B 型号可完全闭合密封

产品核心特点

✅ 闸板式结构，气体放出量低，适配半导体洁净制程

✅ 伺服闭环控制，阀位电压信号反馈，可搭配真空控制器做真空度自动稳压

✅ 运行噪音低、启停冲击小，腔体压力波动小

✅ 无金属滑动摩擦结构，减少颗粒物产生

✅ 全行程可控，不仅可以开关，主要用于管路动态节流调压

典型应用

半导体刻蚀 / 薄膜沉积设备、光学真空镀膜机、电子束蒸发设备、科研高真空腔体、锂电真空工艺管路

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