‌TORAY东丽氧气分析仪MS-500‌是一款专为半导体制造设备和真空设备设计的高性能氧气浓度计。该设备具有以下主要特点和功能：

‌测量范围广泛‌：MS-500可以同时测量1到8个点的氧气浓度，测量范围从ppm到100%，适用于各种不同的应用场景‌。

‌高精度测量‌：采用氧化锆轻型电池作为测量原理，确保了测量的高精度和稳定性‌1。

‌耐用性设计‌：传感器为直接插入式，适用于真空16/25/40的NW法兰，并且具有特殊涂层，进一步提高了耐用性‌。

‌显示方式‌：采用4位数字显示，可以显示密度信息，操作简便‌。

‌环境适应性‌：能够在0-100℃的温度范围内正常工作，压力范围为10-3至200 KPa，适用于多种工作环境‌。

‌外部连接‌：支持任何真空法兰（NW16、25或40），方便与其他设备连接‌。

‌其他特性‌：不支持报警输出，但可以通过RS-232C进行数据传输‌。

应用场景

MS-500氧气分析仪广泛应用于半导体制造设备、真空设备等需要高精度氧气浓度测量的场合。其高精度和稳定性使其在工业生产和科学研究中发挥着重要作用‌。