日本原装OHKURA大仓质量流量计和质量流量控制器MF5100B

货号: MF5100B

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品牌: OHKURA大仓

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简介

MF5100B系列是一款质量流量计和质量流量控制器，集易用性和高性能于一体，包括大流量范围、高温稳定性和三种模式的软启动功能。

分类: 作业工具·自动化控件, OHKURA大仓,

产品详情

长处

■宽流量范围
流量范围从最小5 SCCM到最大400 SLM。

■高可靠性我们集成
了每个电路并优化了机械系统，尽管体积小，但却实现了高可靠性。

■软启动功能主机内置的
软启动功能具有线性上升，可及时调整（最长70秒），并以三种模式运行（更改设置时、通电时、外部阀门关闭→打开时）。

■高稳定性
温度稳定性为0.05%/°C，泄漏标准可达1×10-10Pa・m3/s（He）。

*规格请参考规格表。