SmartSPM扫描器和基座

闭环平板扫描器： 100 µm x 100 µm x 15 µm (±10 %)

扫描器非线性：XY≤0.05 %; Z≤0.05 %

噪声水平：XY≤0.1 nm RMS（200 Hz带宽，电容传感器打开）；XY≤0.02 nm RMS（100 Hz带宽，电容传感器关闭）；Z<0.04 nm RMS （1000 Hz带宽，电容传感器开）

高频扫描器：XY≥7 kHz; Z≥ 15 kHz

X, Y, Z自动趋近：XYZ数字闭环控制，Z向马达趋近距离18mm

样品尺寸：40 mm x 50 mm x 15 mm

样品定位：自动样品台范围：5 mm x 5 mm

定位精度：1µm

AFM测试头

激光波长：1300nm（光谱检测器无干扰）

激光准直：全自动悬臂—光电二极管激光准直

探针通道：为外部操作和探针提供自由通道

SPM测量模式

标准模式：接触模式、半接触模式、非接触模式、相位成像模式、侧向力模式（LFM）、力调制模式、磁力显微镜模式（MFM）、开尔文探针模式（表面电势，SKM，KPFM）、扫描电容模式、静电力显微镜模式（EFM）、力曲线测量、压电响应模式（PFM）、纳米蚀刻、纳米操纵

升级模式：溶液环境接触模式、溶液环境半接触模式、导电力显微镜模式、STM模式、光电流成像模式、伏安特性曲线测量等

光谱模式

共聚焦拉曼、荧光和光致发光光谱和成像

针尖增强拉曼光谱（AFM，STM等）

针尖增强荧光

近场光学显微镜和光谱(NSOM/SNOM)

导电力AFM（选购）

电流范围：100fA~10µA;三档量程自动切换（1 nA, 100 nA 和 10 µA）

光路耦合通道

顶部和侧向能够同时使用消色差物镜：从顶部或侧向最高可用100X，NA0.7物镜；可同时使用20倍和100倍

长期光谱激光稳定对准的闭环压电物镜扫描器：20µm x 20µm x 15µm；

分辨率：1nm

光谱仪

全自动紧凑型XploRA Plus显微光谱仪，可独立使用显微拉曼光谱仪

波长范围：75cm-1至4000 cm-1

光栅：四光栅自动切换(600, 1200, 1800 and 2400 g/mm)

自动化：全自动，软件控制操作

检测器

全光谱范围CCD和EMCCD检测器。

光源

典型波长：532nm、638nm、785nm；其它波长可根据需求提供

自动化：全自动，软件控制操作

软件

集成软件包，包括全功能SPM、光谱仪和数据采集控制、光谱和SPM数据分析和处理套件，包括光谱拟合、去卷积和滤波，可选模块包括单变量和多变量分析套件（PCA、MCR、HCA、DCA），颗粒检测和光谱搜索功能。