江崎推荐HORIBA堀场CS-1000 化学溶液监测系统

HORIBA堀场CS-1000 化学溶液监测系统

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品牌: HORIBA堀场

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支持BEOL工艺中含有微量元素的多组分化学溶液的浓度管理*1.ppm水平下的低浓度组分*2在化学溶液中，可以无需任何预处理即可检测到。只需在制造现场安装整合在独立机柜中的一体化系统即可开始使用*3.*1 “后端”的缩写，指半导体前端工艺中的线路形成过程。*2 ppm = 百万分…

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

产品名称	化学溶液监测系统
模型	CS-1000
测量项目	化学浓度、电导率、pH值
测量原理	吸收光谱法、二电极法、玻璃电极
目标化学品	半导体制造工艺中使用的多组分化学解决方案（详情请联系我们）
尺寸	700（西）×610（D）×1640（高）毫米（不包括突出部分）
重量	约200公斤
湿润材料	柜体（PFA，PTFE）吸收监测器（PFA，PTFE，石英，Kalrez™）导热率计（PFA，碳，Kalrez™）pH 计——排水用途（PVC、PTFE、玻璃、ETFE、PEEK、烯烃树脂、THV、PFA、Kalrez™、PharMed BPT） Karlez™为杜邦德尼穆尔公司商标。
符合标准	CE，KC，FCC 规则第15部分，UKCA，SEMI S2