电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场原装正品HORIBA堀场CS-100F1系列光纤型化学溶液浓度监测仪

原装正品HORIBA堀场CS-100F1系列光纤型化学溶液浓度监测仪

HORIBA堀场CS-100F1系列光纤型化学溶液浓度监测仪

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品牌: HORIBA堀场

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简介

一款在线、实时的光纤化学浓度监测仪，能够测量半导体制造过程中使用的化学品，如清洗和刻蚀。可获得在线实时测量。单一浓度监测仪可同时测量多达四种类型（化学品或范围），适合单片晶圆清洗测量。

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

模型	CS-151F1	CS-152F1	CS-150F1
测量目标	SC-1 （氨/过氧化氢水溶液）	SC-2 （盐酸/ 过氧化氢水溶液）	SPM （硫酸/ 过氧化氢水溶液）
测量目标	多重监测可由一台最多4种化学溶液或测距组成的单元。
测量原理	吸收光谱分析
集中计算原理	温度补偿多元分析
测量范围（质量%）	新罕布什尔州3：0.00%至1.00% 氢2O2：0.00% 到 5.00% 氢2O：94.0%到100.0%	HCI：0.00%至2.00% 氢2O2：0.00%到2.00% 氢2O：96.0%到100.0%	H2所以4：70.0%至96.0% H2O2：0.00%至10.00% 氢2O：4.0%至30.0%
重复性（质量百分比）（室温±1%以内）	新罕布什尔州3：±0.15% 氢2O2：±0.30% 氢2O：±1.5%	HCI：±0.15% 氢2O2：±0.15% 氢2O：±1.5%	H2所以4：±0.50% 氢2O2：±0.50% 氢2O：±1.5%
重复性（质量百分比）（室温±1%以内）	·上述列表的重复性是针对单元类型。请联系我们了解在线单元类型的重复性。 ·上述列表的差异可能因测量范围而异。（详情请参阅我们的网站。）
样品溶液温度	20至80：（使用Inline单元时）20至30：（使用单元单元时）
测量周期	大约3秒
LCD内容与输入	• 第一成分：测量浓度值（%） • 错误代码 • 第二成分：测量浓度值（%） • 并行浓度报警输出无效状态 • 第三成分：测量浓度值（%） • 串行/并行状态 • 第一和第二成分：浓度报警状态 • 背景补偿数据
RS-232C 串行输入	• 串行/并行状态切换 • 并行集中报警输出状态 • 测量数据传输请求（有效/无效） • 第一和第二组分浓度报警设置 • 目标测量解决方案切换
并行输入	12至30伏直流电（光电耦合绝缘）• 并联集中报警输出 • 目标测量解切换 • 背景补偿
并行输出	开集电输出（光电耦合绝缘） • 第一组分量集中报警，4种最大电流类型：• 第二组分量报警，4种直流5毫安（无内部保护电阻） • 器件错误关闭时最大压迫电压：30伏直流 • 测量 • 目标测量溶液类型 • 背景补偿状态
溶液温度输入	端子块连接（M3端子螺丝） • 铂电阻温度传感器：Pt100（Pt100传感器应由客户准备）
模拟输出	• 第一组分浓度报警器，4种类型：4至20毫安 • 第二组分浓度报警器，4种类型：4至20毫安 ✽我们还支持其他测量范围。下单时请特别说明。
光纤电缆	专用CS-100F1系列光纤电缆（25±15：安装温度）
样本单元	我们可以为各种化学溶液提供专用的样品电池（在线电池或单元）。
电源	100伏至230伏交流电（单相）±10%，50/60赫兹，约100伏特
尺寸	205（宽）×329（深）×269（高）毫米，8.1（宽）×13.0（深）×10.6（高）（不含突出部分）
重量	约11公斤