日本进口HORIBA堀场CS-620F 光纤型热磷酸浓度监测仪

HORIBA堀场CS-620F 光纤型热磷酸浓度监测仪

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品牌: HORIBA堀场

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简介

一种磷酸浓度监测仪，能够实时测量高温磷酸，无需冷却。非常适合管理磷酸浓度，主要用于3D NAND闪存SiN层的蚀刻工艺*1，是半导体制造工艺的一部分。*1 SiN层：由硅和氮化合物组成的薄膜，形成于硅晶圆及类似基底上。

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

产品名称	化学溶液监测器
模型	CS-620F
测量原理	吸收光谱法
计算原理	温度补偿型多元分析
样本	H3邮局4/H2O
可测量范围重复性		组成部分	可测量范围（质量%）	重复性（质量%）	模拟输出范围（质量%）
	第一种解	H3邮局4	85.00-92.00	+/-0.10	85.00-100.00
	第一种解	H2O	8.0-15.0	+/-0.3	0.0-15.0
	· 重复性定义为从平均误差（1小时）到最大误差。 · 在相同化学物质下，低温测量（140°C）和高温测量（170°C）可能存在差异（最大+/- 0.30%）。
测量条件	1）测量间隔：约3秒（最小时间） 2）移动平均线：16次
连接配合尺寸	1英寸或3/4英寸
样品条件	样品温度：140至170°C 大气温度，化学温度波动：在+/- 1°C（时间段：1小时）以内输入压力：0.2 MPa或以下压力波动：0.02 MPa 或更少流量：1 到 30 L/min
空气（用于操作和净化）	连接口：4毫米外径快速接头压力：0.2兆帕±0.02兆帕
动力来源	100至230伏交流电（单相），50/60赫兹
功耗	约85伏特（排除启动时的瞬态电流）
交通	并行输入输出，RS-232C，模拟输出
尺寸	（显示器） 200（西） × 308（D） × 78（H）毫米（灯具单元） 200（W） × 262（D） × 100（H）毫米（样品单元） 240（W） × 209（D） × 205（H）毫米
重量	（监视器）约3.6公斤（灯组）约2.8公斤（样品单元）约3.0公斤
环境温度	（显示器，灯具单元）20至30°C （光纤，样品单元）20至100°C * 应避免突然温度变化，温度变化范围在+/- 1°C/1小时内
环境湿度	（监测仪，灯具）40%到70%（应无露水凝结）
安装角度倾斜	（监视器，灯具单元）在+/-1度（样品室）内安装，避免气泡停留。
光纤	长度：5米，弯曲半径：R150毫米