电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场日本进口HORIBA堀场CS-600F 光纤型化学浓度监测仪

日本进口HORIBA堀场CS-600F 光纤型化学浓度监测仪

HORIBA堀场CS-600F 光纤型化学浓度监测仪

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品牌: HORIBA堀场

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简介

一种基于光纤的化学浓度监测器，用于测量半导体制造过程中使用的化学物质，如清洁和刻蚀。可以测量对前沿湿工艺至关重要的高温化学品。实现快速、稳定且节省空间的解决方案，促进化学品管理的优化和精度提升。

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

模型	CS-600F
测量原理	吸收光谱法
计算原理	温度补偿型多元分析
测量目标	新罕布什尔州3/H2O2/H2O（相关说明书） * 如需其他化学品，请联系HORIBA。
测量范围	新罕布什尔州3：0.00~1.20mass%，H2O2：0.00~5.50mass%， H2O：93.3~100.0mass%
重复性	新罕布什尔州3：±0.05质量%，H2O2：±10mass%，H2O：±1.0质量% 化学温度：在±1°C/小时以内
样品溶液温度	20〜80°C
测量周期	大约3秒
液晶显示屏	（1）测量值（%）（2 ）浓度报警（HH/H/L/LL）（3）错误代码（EXXX）（4）化学温度（°C）（5）串行/并行通信状态（P/S）（6）背景校正失败时间（CXXX）
密钥输入	（1）浓度警报设置（HH/H/L/LL）（2）浓度值偏移（3）背景校正（4）热水校正（5）温度相关浓度偏移
并行输入	通过光耦合器绝缘实现12伏至30伏直流输入电压（1）并联集中报警输出（开关）（2）切换化学溶液用于测量（包括背景校正）（3）热水校正
并行输出	晶体管输出（NPN开集电极）通过光耦器绝缘通电时最大电流：5 mA 直流（无内部保护电阻）关机最大电压：30伏直流（1）集中报警（HH/H/L/LL时导通）（2）监测误差（误差时关）（3）测量（测量时导通）（4）测量用化学溶液类型（5）回波到热水校正输入（6）警告（已发生时开启）（7）背景校正状态 8）热水校正状态
串行输入	RS-232C （1）请求读取测量数据（2）选择待测量的化学溶液类型（3）热水校正
串行输出	RS-232C （1）测量数据编号（2）化学溶液类型（3）浓度值（4）错误代码（5）化学温度
模拟输出	4 mA 至 20 mA 如果发生监测错误、测量停止或选择无效化学范围，信号输出固定为 1.5 mA。负载电阻最大必须是500 Ω。
化学溶液温度输入	端子模块入口（端子螺丝M3）铂电阻温度传感器：Pt100 （三导体型，A类）*不含温度传感器。
空气（用于操作和清洗）	连接口：4毫米外径快速接头，压力：0.2兆帕±0.02兆帕
动力来源	100~230V 交流电（单相），50/60Hz
功耗	约85 VA （排除启动时的瞬态电流）
重量	（显示器）约3.6公斤（灯组）约2.8公斤（样品单元）约1.2公斤
环境温度	（显示器，灯具单元）20°C至30°C （样品单元，光纤）20°C至35°C （应避免±1°C/1小时内的突然温度变化）
环境湿度	（监测仪、灯具单元、样品单元）40%到70% （应无露水凝结）
安装时的倾斜角度	（监视器，灯具单元）距离±1°以内
光纤	长度：5米，最小弯曲半径：右150毫米