SmartSPM 扫描仪和基座

样品扫描范围：100微米 x 100微米 x 15微米（±10%）

按样本分类的扫描类型：XY 非线性度 0.05%;Z 非线性 0.05%

噪声：0.1 nm RMS，XY尺寸，200 Hz带宽，电容传感器开启;关闭电容传感器时，XY尺寸为0.02 nm RMS，带宽为100 Hz;< 0.04 nm RMS Z 电容传感器，带宽为1000 Hz

共振频率：XY：7 kHz（无负载）;Z：15 kHz（未负载）

X、Y、Z移动：X、Y、Z轴的数字闭环控制;机动Z型进近范围18毫米

样本尺寸：最大40 x 50毫米，厚度15毫米

样品定位：电动样品定位范围 5 x 5 毫米

定位分辨率：1 微米

AFM头部

激光波长：1300 nm，不干扰光谱探测器

定位系统噪声：可降至<0.1纳米

校准：全自动悬臂梁和光电二极管校准

探针通道：为额外的外部操作器和探针提供免费探针通道

SPM测量模式

空气中接触AFM（液体可选）;半接触式空气/液态AFM;非接触式AFM;相位成像;侧力显微镜（LFM）;力调制;导电式AFM（可选）;磁力显微镜（MFM）;开尔文探针（表面势显微镜，SKM，KPFM）;电容与电力显微镜（EFM）;力曲线测量;压电响应力显微镜（PFM）;纳米光刻;纳米操控;STM（可选）;光电流映射（可选）;伏特-安特性测量（可选）

光谱模式

共焦点拉曼、荧光与光致发光成像与光谱学

AFM、STM和剪切力模式下的尖端增强拉曼光谱（TERS）

尖端增强光致发光（TEPL）

近场光学扫描显微镜与光谱学（NSOM/SNOM）

导电式AFM单元（可选）

电流范围：100 fA ÷ 10 μA;软件可切换3个电流范围（1 nA、100 nA和10 μA）

光学接入

能够同时使用顶平面和侧面平面的消色素物镜：最多100倍，NA = 0.7 距离顶部或侧面;最多可同时达到20倍和100倍

闭环压电物镜扫描仪用于超稳定的长期光谱激光对准：范围为20 μm x 20 μm x 15 μm;分辨率：1 nm

光谱仪

全自动高分辨率LabRAM Odyssey微型光谱仪，可作为独立的微拉曼显微镜使用。

波长范围：50厘米-1可达4000厘米-1或最小至10厘米-1配备超低频（ULF）滤波器选项

光栅：光栅选择范围从150 g/mm到3600 g/mm;2个格栅安装在计算机控制炮塔上，运动学安装，易于更换

光学设计：消色差光谱仪与消色差耦合光学

自动化：全电动、软件控制操作

检测

全范围的CCD探测器、EMCCD和红外探测器：InGaAs阵列、单通道扩展InGaAs、InSb、CdTe,...

激光源

波长：从远射波（229 nm）到红外波（最高可达1064 nm）的全波段

典型波长：532纳米、638纳米、785纳米

自动化：全自动激光器和滤光片切换，最多可同时运行3台激光器;适用于所有波长的激光偏振选择和光谱分析仪选项

软件

集成软件包，包括功能齐全的SPM、光谱仪和数据采集控制、光谱学和SPM数据分析与处理套件，包括谱拟合、反卷积和滤波，可选模块包括单变量和多变量分析套件（PCA、MCR、HCA、DCA）、粒子检测和光谱搜索功能。