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电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场日本进口HORIBA堀场LabRAM 奥德赛半导体

日本进口HORIBA堀场LabRAM 奥德赛半导体

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HORIBA堀场LabRAM 奥德赛半导体

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品牌: HORIBA堀场

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简介

LabRAM奥德赛半导体显微镜是用于光致发光和拉曼成像的理想工具，晶圆直径达300毫米。HORIBA畅销的真共軛焦显微镜配备了自动300毫米样品台和物镜转盘，以满足晶圆均匀性评估和缺陷检测的需求。

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

尺寸	宽× × D（毫米）：1400 × 620 × 1410
光学显微镜	开放空间显微镜，配备白光反射照明，标配5×、10×、100×物镜。可选的电动物镜炮塔。
光谱范围	标准的200 nm - 2200 nm从样品到探测器（消色差，无需更换光学元件）。
成像光谱仪	焦距：800毫米。 532 nm激发波长下光谱分辨率 FWHM ≤ 0.6 cm-11800克/毫米，≤0.3厘米-13000克/毫米。频谱稳定RMS：< 0.02厘米-1RMS测量于Si 520厘米-1排队。配备开放式电极CCD（标准配置），可选EMCCD，选配InGaAs阵列探测器（最多3个探测器）。
空间分辨率	XY横向分辨率<0.5微米;Z轴向分辨率<1.5微米。
300毫米×300毫米电动级	XY高精度编码电动级（X = 300毫米，Y = 300毫米），具有重复性≤1微米;精度 = 1 微米;分辨率（编码器）= 50 nm;最小电机步长 = 10 nm。 Z规格：分辨率（最小步长）= 0.01微米。提供4英寸（100毫米）、6英寸（150毫米）、8英寸（200毫米）和12英寸（300毫米）尺寸晶圆的支架。真空兼容的晶圆支架。
激光	用户可选：266纳米、325纳米、355纳米、405纳米、458纳米、473纳米、532纳米、633纳米、660纳米、785纳米和1064纳米。最多可达6辆机动车。
多扫描™	DuoScan™ 技术用于快速激光扫描和巨斑成像（典型巨斑尺寸为 30 微米× 30 微米，物镜为 50×）。

日本进口HORIBA堀场LabRAM Soleil
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江崎推荐HORIBA堀场LabRAM 奥德赛纳米
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