日本进口HORIBA堀场 PD10

HORIBA堀场 PD10

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品牌: HORIBA堀场

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满足未来需求的下一代检验平台PD10是HORIBA颗粒检测产品线的最新一代产品。基于创新的模块化平台设计，PD10是满足光刻和掩膜生产过程中当前及未来掩膜与膜检验需求的合适工具。晶圆自动化结合HORIBA的核心技术套件，使用户能够扩展PD10系统，不仅涵盖颗粒检测与检测，还包…

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

模型		PD10
尺寸	（W） x （D） x （H）	1000 x 1850 x 1600 毫米
重量		约950公斤
检测颗粒尺寸	模式	0.5微米 / 0.35微米（0.1微米：空白掩膜）*¹
	玻璃	5.0微米（0.5微米 - ：高灵敏度选项）*¹
	棱膜	10.0微米（0.5微米 - ：高灵敏度选项）*¹
光源		633 nm 氦�� 激光器或 488 nm 固态激光器
瞄准线尺寸		5英寸 - 9英寸
开箱器		SMIF POD，兼容多种机箱
吞吐量		大约12分钟（从检查开始到测试结果显示，用于2个表面（6英寸）检查）
面板表面处理		不锈钢
安装环境	清洁度	符合6级ISO标准或更高标准
安装环境	温度	23 +/- 1°C
公用事业	动力	交流200-240伏，2千伏50/60赫兹，单相
	真空源	压力：-80 kPA或更低
	压缩空气	0.6兆帕 - 0.7兆帕
新功能 / 选项	准星边缘处理	是的
	自动捕捉 / 自动定型	是的
	数据浏览器功能	是的
	误检测减少函数	是的