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江崎推荐HORIBA堀场 RP-1准星/掩膜粒子去除器

HORIBA堀场 RP-1

货号:
库存: 0 无货
品牌: HORIBA堀场

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简介

RP-1 通过空气(或氮气)和真空吸力自动去除光罩上的颗粒。在光刻工艺前常规去除颗粒,延长了薄膜更换和口罩清洗周期,从而降低了运行成本。

产品详情

整体尺寸

1320(西)×1200(D)×1600(H)毫米

移除性能(参考值)

* 基于HORIBA标准玻璃珠。

  • 玻璃表面:5微米(去除率90%)

  • 薄膜表面:20微米(去除率90%)

支持的遮罩/准星尺寸

5 / 6 / 7 / 9英寸薄膜安装面罩(*指定一种尺寸)

移除时间(典型)

大约1分钟

支持的Pods/Case(支持的Pods/Case)

尼康/佳能/SMIF的POD格式(*请指定一种机壳类型。)

移除覆盖

距十字线/遮罩外缘5毫米范围内的去除性能并不保证。

电源

交流电压 100–240 V,50/60 Hz,1 kVA

必需的公用事业

功率 / CDA 或氮₂ / 真空 / 排气管道

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