江崎推荐HORIBA堀场 RU-1000等离子体发射控制器

HORIBA堀场 RU-1000

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品牌: HORIBA堀场

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HORIBA开发的光学技术与HORIBA STEC提供的气体控制技术相结合，进一步推动了等离子体控制技术的进步。等离子体发射控制器RU-100提供：通过控制过渡区实现更快沉积，优化大面积高容量腔室的分布，在长时间溅射过程中实现等离子体稳定（稳定沉积），以及针对反应性溅射优化…

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

输入信号	以太网（10BASE-T，100BASE-TX） 1CH PMT的监听信号，或电源的干扰监听信号（0-10Vdc/0-100%） 4CH MFC输出信号（0-5Vdc/0-100%） 4CH
输出信号	PMT增益设置信号（0-5Vdc/0-100%） 4CH MFC设置信号（0-5Vdc/0-100%） 4CH
电源	AC100~240V±10% 50/60Hz 100VA
重量	约5.3公斤