电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场 HORIBA堀场化学溶液监测系统CS-1000

HORIBA堀场化学溶液监测系统CS-1000

CS-1000

货号: CS-1000

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能够对 BEOL 工艺中使用的含有微量元素的多组分化学溶液进行浓度管理*1.ppm 级的低浓度组分*2在化学溶液中，无需任何预处理即可检测到。只需在制造现场安装整合在一个独立机柜中的一体化系统即可开始使用*3.*1 “back end of line”的缩写，指的是半导体前端工艺中的布线…

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

产品名称	化学溶液监测系统
型	CS-1000 型
测量项目	化学浓度、电导率、pH 值
测量原理	吸收光谱法、2 电极法、玻璃电极
目标化学品	半导体制造工艺中使用的多组分化学溶液（详情请联系我们）
尺寸	700 （W） × 610 （D） × 1640 （H） mm（不包括突出部分）
重量	约 200 公斤
接液材料	柜式（PFA、PTFE）吸光度监测仪（PFA、PTFE、石英、Kalrez™）电导率计（PFA、碳、Kalrez™） pH 计 - 排水管使用（PVC、PTFE、玻璃、ETFE、PEEK、烯烃树脂、THV、PFA、Kalrez™、PharMed BPT） ※Karlez™ 是 DuPont de Nemours， Inc. 的商标。
符合标准	CE ， KC ， FCC 规则 Part15 ， UKCA ， SEMI S2

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环境温度	20 至 30 摄氏度（± 0.5 度/1 小时内，应避免温度突然变化）
环境湿度	40 至 70%RH（应无结露）
电源	AC 190~240V （单相）、50/60Hz
功耗	约 355VA（不包括启动时的瞬态电流）
通信	模拟输出：Hardwired_4-20mA、串行：RS-485_Modbus RTU、并联 IO（参考附件） ※ 当测量值未更新时，如监视器错误，信号输出固定为 1.5mA。

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消耗品	由客户或 HORIBA 服务工程师更换零件。卤素灯（额定寿命：约 1 年） Deteurium 灯（额定寿命：约半年）试剂：pH4、pH7、KCl 3.33moL AgCl 饱和物（置换期限：约半年）