HORIBA堀场光纤型化学药液浓度计CS-600F

CS-600F

货号: CS-600F

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品牌: HORIBA堀场

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简介

CS-600F 提供适合生产的更高级功能，如在各种应用中对高温化学药液进行在线测量的能力，减少停机时间的稳定运行，以及提高空间生产率的紧凑尺寸，以满足先进半导体湿法制程所需的准确化学药液浓度管理。

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

型	CS-600F 系列
测量原理	吸收光谱法
计算原理	温度补偿型多变量分析
测量目标	新罕布什尔州3/小时2或2/小时2O （reperesentative specification） * 有关其他化学品，请联系 HORIBA。
测量范围	新罕布什尔州3重量：0.00~1.20质量%、H2或2：0.00~5.50质量%、 H2输出值：93.3~100.0质量%
重复性	新罕布什尔州3：±0.05质量%、H2或2：±10质量%、H2O：±1.0 mass% 化学温度：±1°C/1小时以内
样品溶液温度	20〜80°C
测量周期	约 3 秒
LCD 显示屏	（1）测量值（%）（2）浓度警报（HH/H/L/LL）（3）错误代码（EXXX）（4）化学温度（°C）（5）串/并行通信状态（P/S）（6）背景校正失败次数（CXXX）
按键输入	（1）浓度警报设置（HH/H/L/LL）（2）浓度值偏移（3）背景校正（4）热水校正（5）随温度变化的浓度变化
并行输入	输入电压为 12 V 至 30 V DC，通过光电耦合器绝缘（1）并联浓度警报输出（开/关）（2）用于测量的切换化学溶液（包括背景校正）（3）热水校正
并行输出	晶体管输出（NPN 集电极开路），通过光电耦合器绝缘通电时的最大电流：5 mA DC（无内部保护电阻）断电时的最大电压：30 V DC （1）浓度警报（HH/H/L/LL 警报时打开）（2）监控错误（错误时关闭）（3）测量（测量时打开）（4）测量用化学溶液类型（5）回波到热水校正输入（6）警告（发生时开启）（7）背景校正状态 8）热水校正状态
串行输入	RS-232C （1）要求读取测量数据（2）选择要测量的化学溶液类型（3）热水校正
串行输出	RS-232C （1）实测数据号（2）化学溶液类型（3）浓度值（4）错误代码（5）化学温度
模拟输出	4 mA 至 20 mA 如果出现监视器错误、停止测量或选择了无效的化学范围，则信号输出固定为 1.5 mA。负载电阻必须为最大值 500 Ω。
化学溶液温度输入	端子台入口（端子螺钉 M3）铂电阻温度传感器：Pt100 （三芯型，A 级） *不包括温度传感器。
空气（用于作和吹扫）	连接端口：4 mm 外径快速接头、压力：0.2 MPa ±0.02 Mpa
电源	100~230V AC（单相）、50/60Hz
功耗	约 85 VA （不包括启动时的瞬态电流）
重量	（监视器）约 3.6 kg （灯单元）约 2.8 kg （样品池）约 1.2 kg
环境温度	（显示器、灯单元） 20°C 至 30°C （样品池、光纤） 20°C 至 35°C （应避免温度突然变化，±1°C/1 小时内）
环境湿度	（监视器、灯装置、样品池）40% 至 70%（应无结露）
安装时的倾斜角度	（监视器、Lamp 单元）在 ±1° 以内
光纤	长度：5 m，最小弯曲半径：R 150 mm