HORIBA堀场排气压力控制器EC-5105

EC-5105

货号: EC-5105

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品牌: HORIBA堀场

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EC-5000 系列排气压力控制器可将处理室的压力值维持在客户设定的范围。高分辨率步进电机和蝶阀设计确保对任何压力变化做出快速、灵敏的响应。

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

型号 EC-	5104	5105	5202
兼容尺寸	西北 40	西北 50	25 mm PTFE 接头	1 英寸 PTFE 接头
气体接触区域的材料	SUS316L、氟橡胶		PTFE， PEEK，氟橡胶
电导率（在真空区域）	0.4 至 80 升/秒	0.6 至 200L/s	——
100 mm H2O 时的流出量（完全闭合）	20升/分钟	25升/分钟	3升/分钟
* 此产品受日本出口管制法（即在其管制清单上）的约束。在从日本出口到海外或供应给非居民之前，必须从日本经济产业省（METI）获得出口许可证。可滚动