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HORIBA堀场痕量气体分析仪GA-370

GA-370

货号: GA-370
库存: 0 无货
品牌: HORIBA堀场

¥0.00


简介

用于监测空气分离和半导体工厂制造的高纯度气体的质量管理GA-370 为气体生产设施的质量管理提供连续的,高灵敏度及高精度的微量杂质(CO, CO2, CH4)监测。

产品详情
型号
GA-370
测量组分
CO, CO2, CH4
高纯气体种类
N2, O2, He, Ar, H2, 空气

测量组分数


1~2种(由平衡气体种类决定)


测量原理
交替流动调制型双光束非分散红外吸收法 (NDIR)
量程
0 ~ 1/2/5/10 ppm
检测下限 (2σ)
10 ppb
重复性
≤ ± 2% F.S.
指示误差
≤ ± 2% F.S.
零点漂移
≤ ± 0.02 ppm/天, ≤ ± 0.03 ppm/周
量程漂移
≤ ± 2% F.S. /天, ≤ ± 2% F.S. /周
响应时间 (T90)

≤ 180s


样气流量

样气:约3.5L/分钟,

参比气体:约3.5L/分钟,

标准气体:约3.5L/分钟;

注:样气和参比气的推荐输送压力值为50~100kPa


模拟输出


最多可选两路绝缘输出(2组分);

从0~1V,0~10V,0~16 mA,4~20 mA或0~20 mA中选择一个

电流输出:最大负荷电阻≤750Ω


安装条件环境温度0 ~ 40°C
环境相对湿度≤85%
粉尘低于环境空气基准
振动在 ≤ 100Hz情况下 ≤ 0.29m/s² 
外形尺寸和重量
430(W)×221(H)×555(D) mm (不包括凸起部分),约18 kg
电源
100~240 V AC,≤±10% (最大电压:250 V AC)

功耗


约 100VA



HORIBA堀场双级联单色仪Gemini180
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HORIBA堀场FTIR红外光谱气体分析仪FTX-ONE-RS
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