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电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场 HORIBA堀场腔室清洗终点的气体监测仪IR-200

HORIBA堀场腔室清洗终点的气体监测仪IR-200

HORIBA堀场腔室清洗终点的气体监测仪IR-200

IR-200

货号: IR-200

库存: 0

品牌: HORIBA堀场

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简介

监测高达 5000 ppm 的 SiF4 浓度紧凑设计可安装至排气管路除 SiF4 外，该气体监测仪还可用于测量 CIF3 和其他气体。

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

型号名称	IR-200 表格
测量气体	硅橡胶4气
测量范围	0 至 5000ppm（0 至 500Pa）
重复性	±1%F.S.
细胞长度	30 毫米，1.2 英寸
响应时间	30 秒或更短（T90）
耐压性	0.3MPa（A）
气室加热温度	150 °C （最大值）
触点材料	SUS-316L、BaF2、FKM
泄漏率	1×10-10帕・米3/秒
拟合	NW25 法兰
模拟输出	4 至 20 mA 直流
触点输出	3 个通道（ERR、High、Low）
联系人输入	1 个用于零点校准的通道
权力	24 V DC，30 W（最大）
尺寸（宽 x 高 X 深）	传感器：150×268×90 毫米/3.5x5.9x10.6 英寸控制器：48×96×130 毫米 / 1.9x3.8x5.1 英寸
质量	传感器：4.5 公斤 / 9.9 磅控制器：0.5 千克 / 1.1 磅

HORIBA堀场蒸汽浓度监测仪IR-300
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HORIBA堀场蒸汽浓度监测仪IR-300

HORIBA堀场数据记录器IO-ExpanderIOX-370
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HORIBA堀场数据记录器IO-ExpanderIOX-370

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