SmartSPM扫描器和基座

闭环平板扫描器： 100 µm x 100 µm x 15 µm (±10 %)

扫描器非线性：XY≤0.05 %; Z≤0.05 %

噪声水平：XY≤0.1 nm RMS（200 Hz带宽，电容传感器打开）；

XY≤0.02 nm RMS（100 Hz带宽，电容传感器关闭）；

Z<0.04 nm RMS （1000 Hz带宽，电容传感器开）

高频扫描器：XY≥7 kHz; Z≥ 15 kHz

X, Y, Z自动趋近：XYZ数字闭环控制，Z向马达趋近距离18mm

样品尺寸：40 mm x 50 mm x 15 mm

样品定位：自动样品台范围：5 mm x 5 mm

定位精度：1µm

AFM测试头HE002

激光波长：1300nm

激光对生物样品无影响；

激光对光电测量无影响；

系统噪声：< 0.1 nm

全电动：4步进电机用于悬臂和光电二极管自动对准；

探针通道：为外部操作和探针提供自由通道；

顶部和侧向同时光路通道：带平消色差物镜，可同时高达100x，NA0.7侧向物镜和10x，NA0.28顶部物镜；

SPM测量模式

标准模式：接触模式、半接触模式、非接触模式、相位成像模式、侧向力模式（LFM）、力调制模式、磁力显微镜模式（MFM）、开尔文探针模式（表面电势，SKM，KPFM）、扫描电容模式、静电力显微镜模式（EFM）、力曲线测量、压电响应模式（PFM）、纳米蚀刻、纳米操纵

升级模式：溶液环境接触模式、溶液环境半接触模式、导电力显微镜模式、STM模式、光电流成像模式、伏安特性曲线测

同步Raman的SPM测量模式

空中接触原子力显微镜；

液体接触原子力显微镜（可选）；

空气中的半接触原子力显微镜；

液体半接触原子力显微镜（可选）；

动态力显微镜（DFM，FM-AFM）；

耗散力显微镜；

真正非接触原子力显微镜；

相位成像；

侧向力显微镜；

力调制；

导电原子力显微镜（可选）；

单通开尔文探头；

压电响应力显微镜；

STM（可选）；

光电流成像（可选）；

带音叉的剪切力显微镜（ShFM）（可选）；

带音叉的法向力显微镜（可选）。

光谱模式

共聚焦拉曼、荧光和光致发光光谱和成像

针尖增强拉曼光谱（AFM，STM等）

针尖增强荧光

近场光学显微镜和光谱(NSOM/SNOM)

电流范围：100fA~10µA;三档量程自动切换（1 nA, 100 nA 和 10 µA）

 导电力AFM（选购）

电流范围：100fA~10µA;三档量程自动切换（1 nA, 100 nA 和 10 µA）

光路耦合通道

顶部和侧向能够同时使用消色差物镜：从顶部或侧向最高可用100X，NA0.7物镜；可同时使用20倍和100倍.

长期光谱激光稳定对准的闭环压电物镜扫描器：20µm x 20µm x 15µm；分辨率：1nm