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HORIBA堀场标线/掩模颗粒检测系统PD10-EX

PD10-EX

货号: PD10-EX
库存: 0 无货
品牌: HORIBA堀场

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简介

新产品“PD10-EX”以流行的传统型号“PD10”为基础,配备了颗粒去除功能,可以使用一台设备完成检测和去除。有助于提高半导体制造工艺的效率和良率。

产品详情

光罩/掩模粒子去除剂“RP-1”的功能,其粒子去除率超过 95%※2已与 “PD10” 集成。
这使得自动检测和去除颗粒成为可能。它还配备了一个多端口,允许同时设置两个包含标线/掩模的案例,从而允许连续检测和去除颗粒。


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