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HORIBA堀场直接液体注入系统VC-1420

VC-1420

货号: VC-1420
库存: 0 无货
品牌: HORIBA堀场

¥0.00


简介

尺寸紧凑可安装在各种位置最畅销的 TEOS 汽化系统结合 SEF 或 LF,可实现数字控制无需特殊鼓泡罐或汽化罐DeviceNetTM 型产品系列符合 RoHS 标准

产品详情

VC-1420 系列



产生的流量*1(在 TEOS 生成期间)

最大 5.0 CCM 转换(液相转换)



支持的液体

TEOS、P(OCH3)3、C6F6



温升

最高 150°C



产生的压力*1

减压



外部泄漏完整性

1.0x10-8Pa·m3/秒



内部泄漏完整性

1.0x10-6Pa·m3/秒



湿材料

316L 不锈钢 ( 抛光表面 )



内部加热器容积

交流 100V 至 120V 70W(35Wx2)



使用的温度传感器

热电偶 K 型 (CA)



耐压性

1.0MPa(克)



标准接头

液体入口:1/8 英寸 VCR 型公头 出气口:1/4 英寸 VCR 型母头



*1 因液体类型而异。



*CCM 是表示气体流速的符号(25°C 时 mL/min,101.3 kPa)。

可滚动

 外形尺寸

直接注液装置 VC 系列的外形尺寸


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