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电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场 HORIBA堀场电容式压力计VG-200S

HORIBA堀场电容式压力计VG-200S

HORIBA堀场电容式压力计VG-200S

VG-200S

货号: VG-200S

库存: 0

品牌: HORIBA堀场

¥0.00

简介

绝对压力测量对于包括半导体，FPD, HDD, PV和涂层在内的各种行业的真空工艺是至关重要的。电容式压力计从膜片的变形来确定总压力，当膜片的两侧施加压力差时，膜片发生形变。电容式压力计较于其他方法的优点是:• 高精度• 压力输出对气体的依赖较小• 相对气体的耐腐蚀性

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

型	VG-211S 系列		VG-221S 系列
F.S. 测量范围	133.32 帕斯（A）	1.3332 kPa（A）、13.332 kPa（A）、133.32kPa（A）	133.32帕斯（A）	1.3332 kPa（A）、13.332 kPa（A）、133.32kPa（A）
传感器温度 *1	安倍（25°C）		55°C / 100°C
精度 *2	0.5% R.S.	0.25% R.S.	0.5% R.S.	0.25% R.S.
分辨率	0.03% F.S.	0.01% F.S.	0.03% F.S.	0.01% F.S.
零温度系数	0.01% F.S./°C	0.005% F.S./°C	0.005% 满量程 /°C	0.0025% 满量程 /°C
跨度温度系数	0.05% 读数/°C	0.03% 读数/°C	0.03% 读数/°C	0.02% 读数 /°C
响应时间	< 60 毫秒
工作温度 *3	10-50°C
接液材料	SUS316L
加压极限	300kPA （A）	350kPa （A）	300kPa （A）	350kPa （A）
输出信号	0-10VDC 负载电阻：10kΩ 或更高
I/O 连接器	D-Sub 15 针
电源电压	+15VDC±5%、最大 0.1A -15VDC±5%、最大 0.1A		+15VDC±5%，最大 0.6A。-15VDC±5%，最大 0.6A。
	24VDC±5%，最大 2.4W		24VDC±5%，最大 22W
预热时间	15 分钟		60 分钟（55°C 温度控制型） 120 分钟（100°C 温度控制型）
集电极开路输出	额定电压：30V 额定电流：50mA
重新归零输入 *4	现电压触点输入触点开路电压：13V 最大触点电流：1.3mA
标准接头 *5	KF16， 1/2 英寸 VCR 母头， ICF34， 1/4 英寸 VCR 母头

HORIBA堀场OEM微型光谱仪VS20
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HORIBA堀场电容压力计VG-200
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