电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场 HORIBA堀场光谱仪EV2.0

HORIBA堀场光谱仪EV2.0

EV2.0

货号: EV2.0

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EV 2.0 是一款高性能光谱仪，专为各种半导体原始设备制造商（OEM）和最终用户应用定制，包括具有自动终点配方创建功能的工艺工程，以及执行完整终点和过程质量管理的机上处理。EV 2.0 专用于单腔室或多腔室配置下的光发射光谱（OES）或多波长干涉测量（INT）终点过程实时…

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产品详情

系统概要	这款小型光谱仪基于具有 20 mm 焦距（LR）或 75 mm 焦距（STD， HR）和 50 μm 狭缝的凹面全息光栅（像差校正）。光谱仪连接到工具室的窗口或通过 SMA 光纤连接。 3 种型号的光谱仪： LR：低分辨率 STD：标准分辨率 HR：高分辨率其他 on requests
光栅	HORIBA 像差校正凹面光栅
探测器	BT CCD 制造商：滨松光子学株式会社
电子学	BT CCD 电子制造商：HORIBA， Ltd. 型号：JY70 16bit 采集电子曝光时间：1 ms ~ 10 sec 安装了以下端口 1.LAN 以太网 100Mbps RJ45 （TCP/IP） 2.IOR 70 远程 Db25 PIO-RS 3.直流电源：9 至 24V，标准 24V
光谱仪 LR	型号： EV2.0 LR （Low Resolution）波长范围 300nm~ 900 nm 焦距：20mm 分辨率：6.5 nm 尺寸（毫米）：55.1 宽 x 133.5 x 139.6 高重量（kg）：0.5 kg（不含盖子）（盖子：+0.15kg）
光谱仪 STD	型号： EV2.0 STD（标准分辨率）波长范围 200nm~ 1050 nm 焦距：75mm 分辨率 2.5 nm 尺寸（毫米）：110.3 宽 X 133.5 X 139.6 高重量（kg）：1 kg（不含盖子）（盖子：+0.15kg）