HORIBA堀场大流量液体源汽化控制系统LE系列

LE系列

货号: LE系列

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品牌: HORIBA堀场

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新设计实现汽化率的最大化新喷嘴确保持续稳定的液体注入，实现稳定的蒸气输出浓度全不锈钢设计最大限度地提高耐腐蚀性，减少颗粒产生适用于多种液体材料

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

应用液	H2O/IPA/TEOS/SiCl4 如果您需要蒸发此处未列出的任何液体材料，请联系 HORIBA。
最大汽化量（气体流速）	H2O：10 克/分钟（12.4 SLM） IPA：30 克/分钟（11.1 SLM） TEOS：50 克/分钟（5.3 SLM） SiCl4：130 克/分钟（17.1 SLM）