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电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场 HORIBA堀场实时干涉工艺监测仪LEM系列

HORIBA堀场实时干涉工艺监测仪LEM系列

HORIBA堀场实时干涉工艺监测仪LEM系列

LEM系列

货号: LEM系列

库存: 0

品牌: HORIBA堀场

¥0.00

简介

我们的实时干涉工艺监测仪可在蚀刻/沉积制程中对薄膜厚度和沟槽深度进行高精度检测。根据应用的不同，LEM 摄像头包含 670、905 或 980 nm 激光器，当安装在任何干法蚀刻/沉积制程处理室上，直接俯视晶圆时，会在样品表面产生小激光点。单色光照射到样品表面时会发生干涉…

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情

LEM 系列

系统概要	LEM 相机由一个紧凑的干涉测量部分组成，其中包括激光源、接收器和光学元件，以及照明和 CCD 成像相机，可以使用显微图像监控晶圆表面的任何区域。
光源	半导体激光管
光源波长	670 纳米、905 纳米、980 纳米
放大	50 倍（G50）或 120 倍（G120）
光斑直径	20 μm 至 100 μm，取决于相机到晶圆的距离
探测器	二极管光针
相机尺寸	65 （W） × 160 （H） × 100 （D） mm 2.6 （W） × 6.3 （H） × 3.9 （D）英寸（仅相机，不包括平台）
摄像机重量	1.2 千克、2.6 磅
远程	LEM-CT 只能通过带有 RJ 45 连接器的数字链路连接到任何主机：TCP/IP。可选的 SEQ70 盒包含一个接口板，用于在 HOST / Tool 的主机控制器硬件与盒子主电子设备之间提供电流隔离标签描述插头类型远程PIO、RS、模拟 0-5V母 DB25 可滚动这允许通过逻辑布线进行通信，快速、确定性地使用完全光耦合器和功率尖峰隔离，这在工业制造环境中很常见
LEM 信号盒	LEM-CT 仅随 PC 上的 USB 连接 LEM 信号盒提供，用于收集：图像采集卡 LEM 信号
认证	那

可滚动

Windows 10 PRO，64 位 PC 控制器

直流电源	24V
固态硬盘	256 Go，2,5“ SATAIII
设计	铝制框架，无风扇设计抗震和抗震
连接	RS-232/422/485 RS-232 USB 3.0 标准 2x RJ45 Gb VGA、HDMI ...

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标准 PC （默认）
中央处理器	64 位，Intel® Pentium® N4200,2.5 GHz
公羊	4Go DDR3 内存
控制器尺寸	197 （W） x 110 （D） x 55 （H）毫米
控制器质量	2 公斤

可滚动

高级 PC（可选）
中央处理器	64 位，Intel® Core™ i7-7700T 2.9GHz
公羊	8Go DDR4 2133兆赫
控制器尺寸	264 （W） x 96.4 （D） x 186.2 （H）毫米
控制器质量	4.5 千克

可滚动

选择

手动 XY 载物台
手动 XY 载物台行程范围	±8.0 毫米
手动 XY 载物台尺寸	120 （W） × 120 （H） × 87 （D）毫米 4.7 （W） x 4.7 （H） x 3.4 （D）英寸
手动 XY 载物台质量	1.3 千克，2.8 磅
电动 XY 载物台
电动 XY 载物台行程范围	±12.5 毫米
电动载物台尺寸	167 （W） × 117 （H） × 112 （D）毫米 6.6 （W） × 4.6 （H） × 4.4 （D）英寸
电动载物台质量	2.6 千克、5.6 磅
软件	LEM-CT： Sigma_P，用于工程和生产的动力学建模器 LEM：模拟传感器，无需软件
SEQ70-PIO 盒和 PC 的附件	直接连接工具 24 VDC <1A，20W 用于 SEQ70 盒 <4A，80W 用于 PC 外部电源 AC 100-240V->24VDC， 5A HDMI 屏幕、鼠标、键盘
各种配置	EV 2.0 + LEM 相机，用于在一个腔室中进行双传感器监控

可滚动

环境的

工作温度/湿度	温度：18°C~50°C 湿度：0~70%RH （无结露）
运输温度/湿度	温度：-20°C~55°C 湿度：0~70%RH （无结露）

HORIBA堀场液体质量流量计/控制器LF-F
¥0.00

HORIBA堀场液体质量流量计/控制器LF-F

HORIBA堀场大流量液体源汽化控制系统LE系列
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HORIBA堀场大流量液体源汽化控制系统LE系列

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