电子计测·仪器仪表 HORIBA堀场 HORIBA堀场合注入系统液体汽化器MV-2000

HORIBA堀场合注入系统液体汽化器MV-2000

MV-2000

货号: MV-2000

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品牌: HORIBA堀场

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使用螺旋流加热方法实现稳定的低温汽化大流量汽化（增加稳定性数据）可汽化易热解的液体源

分类: 电子计测·仪器仪表, HORIBA堀场,

产品详情


型	MV-2000 系列
液体材料	除对不锈钢有腐蚀性的液体（例如 HCl、HF）外的所有液体
设定温度	按汽化条件（控制阀：最高 140 °C 汽化器：最高 200 °C）
泄漏完整性	≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s （He）
内部泄漏标准	≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s （He）
接液部件	SUS316L、PFA
温度传感器	K 型热电偶（CA）
耐压性	1MPa（克）
标准接头	液体入口：1/8 VCR 型外螺纹载气入口：1/4 VCR 型内螺纹气体出口：1/2 VCR 型外螺纹
工作温度	15 - 50 °C
选择	空气阀（内漏标准：≤ 1×10-9 Pa·m3 / s（He））